富联注册院辐射所离子束研究团队在电子领域新型封装技术的开发上取得新进展
发布时间：2023-10-22 13:25
图1离子束设备示意图
图2封装薄膜表面及截面形貌
现代电子器件正朝着轻量化、柔性化的方向快速发展，尤其以柔性有机发光二极管（OLED）为应用代表。由于OLED器件自身材料特性，在受到空气中水氧侵蚀时，其服役寿命会急剧衰退。为了应对这项难题，同时满足柔性应用场景，薄膜封装技术应运而生。
在薄膜制备手段中，载能离子束沉积作为物理气相沉积技术的一种，具备有沉积速度快、温度低、制备薄膜致密性高、沉积过程不涉及氢元素、无有机污染物残留等优势，但在封装领域的应用鲜有发表。近日，富联平台辐射技术研究所的离子束研究团队依托财政资金创新培育项目，探索了离子束技术在封装领域中的应用。
离子束研究团队开展了柔性OLED器件表面超薄（≤100nm）封装层的设计制备和结构性能研究，获得高致密、高透光度、阻水氧性能优异的薄膜封装层。探究了封装薄膜的阻水氧及失效机制。基于该项目的研究成果，项目团队已发表SCI论文2篇，申请发明专利1项，获批北京市科技新星计划1项。
下一阶段，离子束团队将进一步完成关键装备、关键工艺的开发，开展工程化的验证及评价，争取实现全国产化的装备及工艺的自主开发制造，为新型显示电子信息产业领域的发展提供新的技术路线及产业基础。
(陈琳 文/图)